由于LED照明爆發(fā)性的增長需求，直接帶動MOCVD需求量的增加。
根據(jù)對全球主要MOCVD供應(yīng)商的出貨量和我國近年新安裝MOCVD的數(shù)量對比，可以看出，近年來我國半導(dǎo)體照明產(chǎn)業(yè)對MOCVD的需求量一直占全球需求量的60%以上，是全球需求量最高的地區(qū)。筆者預(yù)計(jì)，2014年我國新增MOCVD數(shù)量將在150臺左右，總數(shù)將達(dá)到1240臺。到2015年LED照明市場滲透率將從目前的不足9%迅速上升到30%。
然而，中國MOCVD設(shè)備市場的火熱，也預(yù)示著其中競爭程度也在暗中生長。
來自德國愛思強(qiáng)股份有限公司的總裁兼CEO Martin Goetzeler先生表示：“我們會全力支持中國市場客戶，相信會有更好的未來。非常榮幸的邀請到我們的客戶和伙伴來現(xiàn)場講解和分享應(yīng)用經(jīng)驗(yàn)。我們希望我們在LED大規(guī)模制造環(huán)境下的革命性產(chǎn)品能更好的服務(wù)于客戶更好的大規(guī)模生產(chǎn)。”
隨后，德國愛思強(qiáng)股份有限公司首席技術(shù)官Andreas Toennis先生緊接著對AIXTRON面對激烈競爭的LED大規(guī)模制造環(huán)境下的革命性產(chǎn)品進(jìn)行了詳細(xì)介紹。
AndreasToennis先生表示，LED芯片和封裝市場經(jīng)歷了多年的供給過剩，同時，LED中短波用戶認(rèn)識到了LED在普通照明方面的潛力，推動LED照明產(chǎn)品的加速采用。每流明成本的降低還是LED滲透率最重要的推動力。最新的市場報告顯示在2015年和2016年LED芯片共計(jì)缺口還在增加。在激烈競爭的LED大規(guī)模生產(chǎn)市場，生產(chǎn)商需要在降低成本并提高LED的性能，同時滿足整個市場產(chǎn)能方面的需求。
“因?yàn)橥庋颖∧さ纳L代表了芯片制造過程中最關(guān)鍵的技術(shù)，MOCVD大規(guī)模生產(chǎn)設(shè)備的性能具有戰(zhàn)略性的重要性。產(chǎn)能、良率和擁有成本CoO是在競爭中勝出的關(guān)鍵因素。AIXTRON愛思強(qiáng)MOCVD技術(shù)研發(fā)路線圖反映了這些市場需求的重要性。在和客戶緊密合作的條件下，AIXTRON定義了能夠讓MOCVD用戶來成功塑造將來市場的各關(guān)鍵因素。在本次報告中，AIXTRON愛思強(qiáng)首席技術(shù)官還詳細(xì)介紹改善生產(chǎn)經(jīng)濟(jì)效益和確保AIXTRON愛思強(qiáng)客戶更大的成功的快速而有效的路徑。”Andreas Toennis先生表示。
隨后，來自廣東德豪潤達(dá)電氣股份有限公司執(zhí)行副總裁兼芯片事業(yè)部總經(jīng)理武良文博士作了題為“基于CRIUS II-XL平臺的4英寸大規(guī)模生產(chǎn)技術(shù)”的專題報告。該報告首先對LED照明市場及發(fā)展趨勢進(jìn)行簡單介紹。武良文表示，目前在大規(guī)模生產(chǎn)情況下如何降低單位流明的成本是贏得市場競爭的關(guān)鍵，預(yù)計(jì)2015年的新增產(chǎn)能也將以四寸為主。同時，他隨后還詳細(xì)闡述了利用CRIUS？II-XL平臺進(jìn)行4英寸大規(guī)模生產(chǎn)的技的優(yōu)勢，與在場的嘉賓及媒體朋友進(jìn)行了深入交流。
緊接著，三安光電股份有限公司總經(jīng)理助理吳超瑜先生也對“基于AIXTRONG4-TM機(jī)臺的四元產(chǎn)品穩(wěn)定量產(chǎn)”進(jìn)行了詳細(xì)闡述。
吳超瑜表示，“三安光電生產(chǎn)各種四元產(chǎn)品，其亮度在市場上極具競爭力。并且，運(yùn)用G4TM生產(chǎn)的LED產(chǎn)品的光電性能和各種維護(hù)條件下的機(jī)臺重復(fù)性，并與其前一代產(chǎn)品G3進(jìn)行對比，G4TM的維護(hù)周期短、系統(tǒng)恢復(fù)快等特點(diǎn)；4寸效益明顯，單片成本更優(yōu)。G4機(jī)臺可以實(shí)現(xiàn)超高亮度LED的穩(wěn)定量產(chǎn)。通過優(yōu)化結(jié)構(gòu)和機(jī)臺氣流后，可以實(shí)現(xiàn)超高亮度的穩(wěn)定生產(chǎn)；適當(dāng)調(diào)快生長速率后仍然保持良好性能；TM和bake爐的合理搭配可以提升機(jī)臺的穩(wěn)定性。”
同時，Laytec AG市場銷售總監(jiān)Tom Thieme先生以題為“通過原位監(jiān)測技術(shù)降低生產(chǎn)成本”的技術(shù)報告也引起現(xiàn)場嘉賓的極大關(guān)注。Tom Thieme表示，“由于對波長均勻性和產(chǎn)品結(jié)果重復(fù)性更嚴(yán)格的控制要求，基于氮化鎵的器件結(jié)構(gòu)，例如，高亮度發(fā)光二極管和紫外發(fā)光二極管的金屬有機(jī)化學(xué)氣相沉積生產(chǎn)變得更加苛刻。為了滿足發(fā)光二極管在優(yōu)化產(chǎn)品良率及降低生產(chǎn)成本方面的目標(biāo)，先進(jìn)的原位測量和工藝控制降低了外延芯片的經(jīng)營成本。我們會皆是緣為測量是如何通過更精密以及更可靠的工藝控制來實(shí)現(xiàn)改進(jìn)改進(jìn)發(fā)光二極管器件產(chǎn)品這一工業(yè)目標(biāo)。”
Tom Thieme先生還表示，在與MOCVD設(shè)備制造商AIXTRON以及發(fā)光二極管眾多的制造商AIXTRON以及發(fā)光二極管眾多的制造商的攻防統(tǒng)合作下，一個獨(dú)一無二的模塊化的原位平臺被建立起來，來滿足客戶的需求。我們強(qiáng)烈關(guān)注的是使用已被證明的原位檢測系統(tǒng)的優(yōu)勢，例如，對外延層溫度，所有生長材料的反射率以及先進(jìn)曲率的精確可靠的檢測，以及把這些已知的優(yōu)勢擴(kuò)展到工藝控制環(huán)境中。同時，在這次研討會上，愛思強(qiáng)還展示了該工藝控制平臺是如何來顯著降低經(jīng)營成本以及增加外延良率的。
據(jù)記者了解，目前在大功率應(yīng)用方面，功率分布以及電子遷移方面，氮化鎵已經(jīng)引起了人們的興趣。為了加強(qiáng)這些應(yīng)用在市場中的位置以及使他們可以商業(yè)化，先決條件是高電子遷移率晶體管的低成本生產(chǎn)。降低器件成本的其中一個因素就是增大襯底尺寸時材料生長的均勻性和電性能的良率。此外，采用硅襯底來生長外延材料也能使這些器件的成本降低，因?yàn)楣枰r底更加便宜，而且有較大的尺寸，還可以跟硅半導(dǎo)體的后段工藝線保持一致性。
為此，德國愛思強(qiáng)股份有限公司研發(fā)副總裁Michael Heuken教授也以“作為功率電子器件必備方案的行星式反應(yīng)器MOCVD技術(shù)”報告壓軸出場，與在場各位嘉賓及企業(yè)代表共通過分享了行星反應(yīng)器MOCVD技術(shù)給企業(yè)帶來的新視角。
Michael Heuken教授表示，為了滿足這些需求，我們創(chuàng)建了可以放8片6寸片子的AIXG5高溫行星式反應(yīng)式設(shè)備。并且，為了評估該反應(yīng)室的性能，我們建立了在高硅襯底上高電子遷移率晶體結(jié)構(gòu)的基準(zhǔn)。最終晶體管被生產(chǎn)出來，性能也被表征了。與此同時，目前我們我們得到了高擊穿電壓和高漏電流密度的晶體管，這些晶體管也顯示了非常好的價值性能，使大功率器件能量有很低的損失。我們依據(jù)在可以生長5片200毫米襯底的AIXG+行星式金屬有機(jī)化學(xué)氣相沉積反應(yīng)室上的實(shí)驗(yàn)結(jié)果解釋并討論額外的結(jié)果，以及一種更大尺寸襯底的轉(zhuǎn)移策略。
