2月3日消息，近日，以麻省理工學(xué)院為首的研究團(tuán)隊(duì)在《自然》（nature）雜志上宣布，團(tuán)隊(duì)開(kāi)發(fā)出全彩垂直堆疊結(jié)構(gòu)Micro LED，陣列密度高達(dá)5100 PPI，尺寸僅為4μm，號(hào)稱是目前所知擁有最高陣列密度和最小尺寸的Micro LED。
圖片來(lái)源：nature雜志
據(jù)介紹，為了實(shí)現(xiàn)高分辨率和微小尺寸的Micro LED，研究人員采用了基于二維材料的層轉(zhuǎn)移（2D materials based layer transfer (2DLT)）技術(shù)。
該技術(shù)允許通過(guò)遠(yuǎn)程外延（remote epitaxy）或范德華（van der Waals epitaxy）外延生長(zhǎng)、機(jī)械釋放和堆疊LED等制作工序，在二維材料涂層襯底上生長(zhǎng)近亞微米厚度的RGB LED。
研究人員特別指出，僅有9μm的堆疊結(jié)構(gòu)高度是打造高陣列密度Micro LED的關(guān)鍵。
研究團(tuán)隊(duì)還在論文中展示了藍(lán)光Micro LED與硅膜晶體管的垂直集成，適配于AM主動(dòng)矩陣式驅(qū)動(dòng)應(yīng)用。研究團(tuán)隊(duì)表示，本次研究為制造AR/VR用全彩Micro LED顯示器提供了新路線，同時(shí)也為更廣泛的三維集成設(shè)備提供了通用平臺(tái)。（LEDinside Irving編譯）
論文鏈接：https://www.nature.com/articles/s41586-022-05612-1
