由于Micro LED的制造過(guò)程比LCD和OLED的制造過(guò)程要復(fù)雜得多,并且在Micro LED可以在大眾市場(chǎng)上容易獲得之前,必須克服數(shù)項(xiàng)技術(shù)難題。
第 一個(gè)挑戰(zhàn)是:在不破壞原生長(zhǎng)襯底,是其能進(jìn)行二次利用的前提下,把Micro LED芯片從藍(lán)寶石襯底分離并轉(zhuǎn)移到中間襯底以進(jìn)行后續(xù)測(cè)試。
另一個(gè)挑戰(zhàn)是如何將芯片快速準(zhǔn)確地轉(zhuǎn)移到最終的玻璃底板上,這是典型4K使用傳統(tǒng)的取放轉(zhuǎn)換方法,其中涉及數(shù)千萬(wàn)個(gè)Micro LED芯片的顯示可能需要數(shù)百小時(shí)。同時(shí)在生產(chǎn)過(guò)程中還需要實(shí)現(xiàn)檢測(cè)和修復(fù)/更換有缺陷的Micro LED。因?yàn)橐a(chǎn)全高清桌面顯示器,像素的合格率必須達(dá)到99.9999%。
3D-Micromac的microCETI(tm)激光微加工平臺(tái)以高產(chǎn)量,高精度和低擁有成本支持microLED顯示器制造中的所有激光工藝。
據(jù)悉,3D-Micromac的MicroCETI(tm)激光微加工平臺(tái)支持Micro LED顯示器制造中的所有激光工藝,具有高產(chǎn)量、精度、低成本等優(yōu)勢(shì)。
MicroCETI平臺(tái)具有三種不同的配置,可實(shí)現(xiàn)經(jīng)濟(jì)高效的Micro LED器件轉(zhuǎn)移、提起和維修。在無(wú)需施加機(jī)械力的前提下,該平臺(tái)高速度可以實(shí)現(xiàn)每小時(shí)傳輸數(shù)億個(gè)Micro LED,與其他方法相比,傳輸速率最 高可提高幾個(gè)數(shù)量級(jí),并能夠精確應(yīng)對(duì)這些挑戰(zhàn),并已經(jīng)收到多個(gè)系統(tǒng)訂單。
通過(guò)使用激光微加工實(shí)現(xiàn)的Micro LED顯示技術(shù),能做到視角出色、高動(dòng)態(tài)范圍、完美的黑亮度和高亮度、色域?qū)挕⑺⑿侣士、使用壽命長(zhǎng)、低功耗等。這些展示優(yōu)勢(shì)有望改變未來(lái)的顯示行業(yè)。
據(jù)3D-Micromac CEO烏維·瓦格納表示,“MicroLEDs在很寬的范圍內(nèi)的應(yīng)用和終端設(shè)備,包括室內(nèi)和室外標(biāo)牌、智能手表,增強(qiáng)和虛擬現(xiàn)實(shí)耳機(jī)為未來(lái)顯示器的巨大潛力,以及汽車(chē)平行顯示器。3D-Micromac作為激光微加工領(lǐng)域的領(lǐng)導(dǎo)者,在將創(chuàng)新的激光技術(shù)應(yīng)用于新興應(yīng)用以滿(mǎn)足其批量生產(chǎn)需求方面擁有豐富的經(jīng)驗(yàn),我們的新型MicroCETI平臺(tái)提供了一種高通量,通用且經(jīng)濟(jì)高效的激光微加工工藝,非常適合生產(chǎn)Micro LED。我們期待與Micro LED器件和顯示器制造商合作,以加快采用這種令人振奮和有前途的顯示技術(shù)。”
MicroCETI平臺(tái)具有以下三種配置:
LIFT:幾乎所有Micro LED材料和形狀的獨(dú)特激光傳輸過(guò)程;
LLO:實(shí)時(shí)激光剝離技術(shù),適用于與客戶(hù)相關(guān)的Micro LED材料;
維修:在Micro LED生產(chǎn)路線的每個(gè)步驟進(jìn)行單芯片修復(fù)過(guò)程。
MicroCETI平臺(tái)具有高重復(fù)率的高精度紫外波長(zhǎng)激光器和先進(jìn)的定位系統(tǒng),可用于三個(gè)階段(施主階段,基板階段和掩模階段)以及多達(dá)16個(gè)軸,以亞微米級(jí)的定位傳輸每個(gè)Micro LED精度和納米級(jí)可重復(fù)性。MicroCETI支持的供體晶圓尺寸范圍從50mm(2英寸)到200mm(8英寸),以及中間/轉(zhuǎn)移晶圓和最大350mm x 350mm的背板基板。除了Micro LED,MicroCETI平臺(tái)還適用于標(biāo)準(zhǔn)LED和Mini LED處理。